MKS Instruments電容壓力計，壓力傳感器技術參數(shù)

MKS Instruments，Inc.是過程控制解決方案的全球提供商，該解決方案可以測量，控制，供電，監(jiān)視和分析先進制造過程的關鍵參數(shù)，以提高過程性能和生產(chǎn)率。我們的產(chǎn)品源于我們在壓力測量和控制，流量測量和控制，氣體和蒸汽輸送，氣體成分分析，殘留氣體分析，控制和信息技術，臭氧產(chǎn)生和輸送，射頻和直流功率，無功氣體產(chǎn)生方面的核心競爭力以及真空技術。

壓力測量與控制

MKS是壓力和真空測量的。MKS系列壓力和真空測量儀器包括Baratron®電容壓力計，壓力傳感器，壓力開關和壓力控制子系統(tǒng)。

MKS系列用于控制真空和壓力的解決方案包括下游閥門和控制器，上游閥門和控制器，真空隔離閥和集成解決方案。我們的廣泛產(chǎn)品包括高速蝶形控制閥，高速擺閥，SST隔離閥以及具有基于模型的高級控制的閉環(huán)壓力控制器。

MKS是下游壓力控制子系統(tǒng)的，該子系統(tǒng)集成了排氣節(jié)流閥，先進的數(shù)字控制器和Baratron®過程壓力計。我們的整體解決方案以更快的設定值提供更高的吞吐量，減少了過沖/下沖，并增加了正常運行時間。

流量測量與控制

MKS系列質量流量控制器儀器可在各種應用中測量和控制關鍵氣體的流量，例如半導體制造，光學涂料和平板顯示器制造。

MKS Instruments的質量流量控制器（MFC）和質量流量計（MFM）可以進行模擬或數(shù)字通訊，并具有彈性體或金屬密封件。模擬質量流量控制器和質量流量計是基本應用的理想選擇，以簡單且經(jīng)濟高效的封裝提供高性能。與模擬質量流量控制器和質量流量計相比，數(shù)字質量流量控制器和質量流量計設備具有多個優(yōu)點-改進的診斷功能，單個包裝中的多種氣體功能以及多種范圍的功能，從而減少了備件需求并總體上降低了擁有成本。